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薄膜制备

完善各种蒸发技术的开发和产业化，实现对蒸发、电子束蒸发及磁控蒸发的消化，在现有的技术进步优化和改善传统技术上，提供全周期表的解决方案，与OLED，芯片制造等领域的专家合作，实现大容积工业化镀膜设备的产业化。
真空技术

借助于目前国内的制造业优势和人才优势，通过标准真空产品和定制化系统两个渠道，提高再国内外市场占有率，同时利用自身的优势，服务国家重大科学项目和产业结构转型，为航空航天，材料研究，芯片制造等提供基础支撑。
低温技术

基于在基础研究领域积累的技术优势，深入挖掘各种无液氦电制冷技术，实现对现有液氦制冷技术的替代，做到更好的技术指标和操作性。此外把低温技术利用到生物冷冻和基因领域，试制一些低温存储和传输样机，从源头解决生物无损保存的问题。
等离子技术

提高等离子的发生效率和功率，为小型化及工业应用做准备；紫外光源前期将面对科研的光谱和质谱用户，后期将瞄准光刻等高端需求，离子源将作为工业化用途，完成对目前离子源技术的替代。

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